12月(yue)10日，SAC/TC336全國(guo)微機電技(ji)術(shu)標(biao)(biao)準(zhun)化技(ji)術(shu)委(wei)員(yuan)會硅光MEMS標(biao)(biao)準(zhun)化工作組成立(li)大會在中國(guo)兵器工業集團微電子院召開，標(biao)(biao)志著(zhu)由(you)微電子院牽頭的硅光MEMS國(guo)家(jia)標(biao)(biao)準(zhun)建(jian)設工作正(zheng)式(shi)起航。 硅光MEMS是集(ji)合了微電子(zi)、微機械和光電子(zi)技術(shu)交叉融合的(de)前(qian)沿技術(shu)，在數據(ju)通訊、生化醫(yi)療、自動駕駛、國防安全等領域應用(yong)前(qian)景廣闊，目前(qian)標(biao)準(zhun)領域尚(shang)為空白(bai)，亟待建立國家甚至國際標(biao)準(zhun)。 微電(dian)子院MEMS技術(shu)位居國內(nei)前列，此次(ci)作為工(gong)作組牽頭單位，將積極協同高校、科(ke)研院所和(he)上下游企業，在國標(biao)委的指導下，圍繞硅光MEMS技術(shu)和(he)產業發展，加快國家標(biao)準(zhun)制定，廣泛(fan)開展科(ke)研項目和(he)產業合作，助(zhu)推我(wo)國硅光MEMS產業持續(xu)健康發展。 來源/微電子院 文/蘇楊 朱震星
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